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作者：黄一飞;袁彪;陈冕成;陈磊;
单位：南京理工大学电子工程与光电技术学院;南京英特飞光电仪器有限公司;
摘要：在中远红外波段，由于红外材料无法透射可见光，材料的均匀性测量相对困难，然而近年来红外材料的加工精度需求越来越高，因此实现红外材料均匀性的准确测量迫在眉睫。当前的检测手段中，干涉法作为一种非接触高精度的检测手段得到广泛应用。本研究针对红外材料的非均匀性进行了测量，采用波长为3390nm的中红外干涉仪进行实验。通过透射法对同一元件进行测量，并用翻转法验证结果，验证了本干涉仪的精度和准确性。同时，利用本干涉仪与Zygo干涉仪对熔融石英材质的元件进行了对比实验，结果表明干涉仪的测量精度能达到要求。这项研究为红外材料非均匀性的准确测量提供了重要参考，具有一定的理论和实际意义。
关键词：中红外;;非均匀性;;翻转法;;透射法
