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作者：朱宏钰;王青;徐航;
单位：南京理工大学电子工程与光电技术学院;
摘要：在制造业中，一些元件的平整度误差已经达数十微米量级，超出了传统干涉仪的测量范围。为了解决这个问题，可以采用大角度掠入射干涉测量方法，例如采用棱镜法的变倾角小间隙相移干涉，为解决大角度掠入射下表面反射率高，形成多光束干涉，增加了相位提取难度的问题，提出了通过反射率控制膜系减少多光束干涉和动态膜系消除多光束干涉两种方法。使用导纳矩阵对系统进行分析以及使用Matlab仿真入射角为83°的情况，当直角棱镜弦面的反射率控制在10%的时候，多光束干涉对移相计算的误差将降低到7.2nm左右。最后介绍了可完全消除多光束干涉的动态膜设计和实际完成的设备。
关键词：变倾角相移干涉;;掠入射;;多光束干涉;;膜系设计
