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作者：孙伟;金尚忠;张殷;孙紫娟;徐胜;
单位：中国计量大学光学与电子科技学院;苏州岚创科技有限公司;
摘要：在密集波分复用系统中使用窄带滤光片进行工艺调试时，需要对单层薄膜的厚度、厚度分布以及残余应力等参数进行测量。针对当前需采用多个系统测量时的复杂性及重复定位而引入误差的问题，设计了一种基于椭偏光谱和光杠杆法的薄膜厚度及曲率测量系统。该系统在椭偏光谱测量的基础上引入光杠杆法，成功地在一个集成设备上实现了对上述多种参数的精确测量。实验结果表明：与RC2型椭偏仪、ZYGO激光干涉仪测量结果相比，所设计的测量系统测得的薄膜厚度偏差小于0.21%，厚度分布偏差值小于0.025%，曲率和残余应力偏差均在±1°以内，系统能够统满足实际的测量需求。
关键词：光学检测;;椭偏光谱;;光杠杆法;;基片曲率法;;残余应力
