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作者：王君;杨杨;曾环;邓家良;陆广宝;
单位：安徽万瑞冷电科技有限公司;中国电子科技集团第十六研究所;
摘要：文章成功设计了一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵，通过结构优化显著提高了Xe抽速，并能够有效抽除N_2、H_2等常规气体。实验结果表明，该低温泵的Xe抽速高达65000 L/s，对N_2和H_2的抽速也分别达到了60000 L/s，抽氢容量为150 L。这些成果证实了新型大抽速CP1250Xe复合低温泵在提升氙气抽速方面的显著优势，解决了传统低温泵Xe抽速无法达到理想抽速的问题，同时具备常规气体的抽气能力，为真空获得提供了强有力的技术支持。
关键词：低温泵;;抽氙速度;;真空获得
