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作者：陈林;邓高飞;杨红;刘伟健;王浩为;罗守庚;白文龙;
单位：北京中科九微科技有限公司;
摘要：研究针对细长真空管在实际工况中存在的远端压力计算复杂、耗时较长以及管内压力难以测量等技术难题，采用理论推导、数值模拟与实验测试相结合的方法，系统研究了细长真空管内的压力分布规律。结果表明：细长管两端的压差与管路的几何参数相关；且细长真空管内的压力呈现典型的抛物线分布特征，其中泵口侧压力梯度变化最为显著；通过缩短管道长度或增大管径可有效优化管内压力分布。研究成果为真空系统的优化设计提供了理论依据和技术支撑，对提高抽气效率、优化细长管内的真空压力分布以及保证工艺一致性具有重要的工程应用价值。
关键词：细长管;;压力分布;;压力梯度
