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真空科学与技术学报2025年第11期:感应耦合等离子体电磁特性的模拟

来源:期刊VIP网 时间:


作者:官泳;张政权;

单位:西南交通大学;

摘要:研究基于等离子体隐身技术背景,建立了感应耦合等离子体(ICP)的电磁模型,用于分析不同放电条件下等离子体的电磁传输特性,为等离子体隐身技术提供理论支持。等离子体参数基于流体动力学模拟结果设定,以提高模型精度。通过模拟研究了ICP的反射频谱和吸收频谱。结果表明,调节气体压力、工作气体比例及功率等条件可有效控制衰减频带和幅度,实现雷达反射信号的抑制。其中,O-ICP对6 GHz以下低频段吸收较强,而Ar-ICP在6-14 GHz范围内吸收效率更高。随着压力或功率增加,吸收峰值向高频移动,且吸收频段展宽。此外,对比不同相位两匝线圈激发的ICP特性,发现反相电流激发的等离子体具有更低截止频率和较弱吸收能力。

关键词:隐身技术;;感应耦合等离子体;;电磁波衰减;;流体模型