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作者：吕明宇;刘相梅;王博;林婧;王鑫;
单位：齐齐哈尔大学理学院;
摘要：文章采用一维流体模型，对大气压低频（100 kHz）Ar/O_2等离子体的放电特性进行深入剖析，着重探讨了气压、频率对等离子体密度、电离率、电子温度以及轰击到上极板处离子能量等参数的影响。结果显示，低频放电中γ模式占主导，DA(Drift-Ambipolar )模式相对较弱，但呈现出明显的漂移电场和双极扩散场，电子主要集中在上极板处，轰击到上极板处离子能量较高。随着放电频率的增加，放电模式先由γ模式主导γ/DA混合模式转变为DA模式主导α/DA混合模式，然后转变为α模式主导α/DA混合模式，模式转换对电子密度、电子温度和轰击到上极板处离子能量均有显著影响。当气压增加时，也会发生模式转换现象，但低频区和高频区等离子体密度随气压呈完全不同的变化趋势。更为重要的是随着气压的增加，高频区DA模式明显增强，低频区DA模式减弱。
关键词：大气压Ar/O_2放电;;低频等离子体特性;;模式转换
基金资助：国家自然科学基金项目(12275039;11805107);; 黑龙江省高校基本科研业务基金项目(145309625)
