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人工晶体学报2025年第06期:热屏影响下直拉法单晶硅生长能耗及传热路径研究

来源:期刊VIP网 时间:


作者:祁超;李登辇;李早阳;杨垚;钟泽琪;刘立军;

单位:西安交通大学能源与动力工程学院;

摘要:单晶硅是太阳能电池的主要原材料,其生长成本直接影响电池的制造成本。因此,降低单晶硅生长能耗对光伏产业的降本增效至关重要。本文建立了直拉单晶硅生长的全局3D数值模型,考虑了单晶炉中加热器、电极等非旋转对称结构,能够更精确地模拟单晶炉内的流动和传热过程。基于所建立的数值模型,研究了热屏冷、热侧发射率对单晶炉内能耗分配及辐射、对流和导热传热路径的影响规律。结果表明,冷、热侧发射率的降低均可取得明显的降耗效果,且降低冷侧发射率能够更加显著地降低能耗。在辐射传热方面,随着热屏冷、热侧发射率的降低,石墨坩埚和热屏热侧的吸热,以及硅熔体和热屏冷侧的放热均不断减小;随着热侧发射率的降低,顶保温的吸热出现了一定的增加。在对流传热方面,随着热屏冷侧发射率的降低,水冷屏吸热及热屏冷侧放热均不断增大,与冷侧相比,热侧发射率对对流传热的影响则相对较小。在导热传热方面,随着热屏冷热侧发射率的降低,热屏热侧到冷侧、石墨坩埚到石英坩埚,以及石英坩埚到硅熔体的导热均不断减小。本文研究结果可以为工业直拉单晶炉的精细化、深度化降耗提供重要的参考。

关键词:热屏;;能耗;;传热路径;;直拉单晶硅;;数值模拟

基金资助:国家重点研发计划课题(2023YFB4204601);; 内蒙古自治区科技创新重大示范工程“揭榜挂帅”项目(2023JBGS0017,2024JBGS0004);; 宜宾市“揭榜挂帅”科技项目(2023JB005)