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作者：王炜;万文;何琼;陈元凯;杨晟;
单位：武汉软件工程职业学院(武汉开放大学)电子工程学院;
摘要：高功率气体板条激光器由于其光束质量好、输出功率高等优点在激光加工中应用广泛，目前在超大规模集成电路晶圆退火工艺中发挥着重要作用。随着输出功率的提升，板条激光器中像差会影响激光器的效率及输出光束质量。理论分析气体板条激光器中的像差，并数值模拟2 kW射频板条CO_2激光器分别采用球面腔镜和抛物面腔镜时谐振腔光束受腔镜像差影响的情况。结果表明，球面镜腔输出平面位置光束为会聚平面波，输出镜失调角度在±6 mrad变化时，激光器功率提取效率相比抛物面镜腔低5.6%,而抛物面镜腔激光器则不受腔镜初级像差影响。
关键词：激光光学;;像差研究;;光束特性;;失调特性
基金资助：武汉市科学技术局2023年度知识创新专项曙光计划项目(2023010201020486);; 武汉软件工程职业学院博士团队科技创新平台(自然科学与应用技术类)(BSPT2023002)
