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作者：袁山山;
单位：上海市激光技术研究所有限公司;
摘要：传统的波荡器真空室及支架预组装过程严重依赖专业技术人员和激光跟踪仪，其过程存在效率低、随机误差大及专业技术人员依赖等问题。通过对真空室及支架预组装工艺的深入研究，研制一套真空室平面度和直线度自动化检测装置，设计超长行程气浮平台、专用“C”型测量装置、定位工装平台、系统协同控制方案等，并在上海硬X射线自由电子激光装置建造现场成功应用，全程仅需一名普通操作员，系统综合检测精度达到0.04 mm,装配时间由1 h降低到25 min,效率提升58%,人工成本由3人降低到1人，成本节约67%,为同类重大科技基础设施的高效建造提供解决方案范例。
关键词：大科学装置;;真空室;;激光传感器;;平面度;;直线度
基金资助：上海市国资委企业创新发展和能级提升项目(20240001)
