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作者：王源;杨德仁;李东升;
单位：浙江大学材料科学与工程学院/硅及先进半导体材料全国重点实验室;
摘要：研究在不同氧气含量条件下通过磁控溅射沉积的铝铒共掺氧化锌薄膜及电致发光器件的光电性能。实验发现氧气含量的提高有利于增强Er~(3+)离子的光学活性并降低薄膜中电子陷阱的浓度。另外，由于沉积过程中溅射出的粒子与氧气碰撞导致能量损失，高氧气含量会引起薄膜结晶性下降。在电致发光中，由于氧填充了作为施主的氧空位，强烈依赖于多子浓度的npn异质结器件在纯氩条件下才能获得最强的电致发光。
关键词：铝铒共掺氧化锌;;溅射气氛;;电致发光;;氧空位
基金资助：国家重点研发计划资助项目(2018YFB2200102);; 国家自然科学基金资助项目(61874095,61721005)
