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作者：谢炜;明帅强;夏洋;周兰江;
单位：昆明理工大学信息工程与自动化学院;嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心;
摘要：化学气相沉积技术是一种近几十年发展起来的制备无机材料的化工技术。随着机器学习技术的发展，其在化学气相沉积领域也发挥着不小的作用。基于此，本文概述了化学气相沉积的原理与机器学习的发展历程，分析了机器学习在化学气相沉积中的典型应用，总结并分析了未来应用的发展趋势。
关键词：化学气相沉积;;无机材料;;薄膜;;机器学习
基金资助：中科院关键技术团队资助项目(GJJSTD20200003)
