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作者：王峰;许高斌;尹盛华;季旭;冯建国;
单位：合肥工业大学微电子学院安徽省MEMS工程技术研究中心;
摘要：针对静电驱动MEMS扫描镜存在谐振频率低、驱动电压较高等缺点，提出了一种具有高谐振频率、低驱动电压的二维MEMS扫描镜。该扫描镜采用轴对称分布的交错型垂直梳齿结构，通过对该器件进行了理论分析，建立了理论模型；利用COMSOL仿真软件对扫描镜做静态和动态的分析验证，结果表明梳齿轴对称结构在偏转时能提供更大的驱动力矩，同时避免传统梳齿的不平衡运动带来的干扰；扫描镜在12 V和16 V的正弦波电压驱动下，快轴和慢轴的谐振频率分别为11657 Hz、6211.4 Hz，相对应的机械偏转角为5.9°、6.6°；此外，扫描镜的两轴谐振频率相差较大，能够有效抑制两种运动状态的相互干扰。最后设计一套适用于该器件的制备工艺。
关键词：微机电系统;轴对称梳齿;二维扫描镜;静电驱动
基金资助：安徽省科技创新攻坚计划项目（202423k09020047）; 国家重点研发计划项目（2022YFB3205903）; 安徽省科技计划项目（PA2022AKGY0012）
