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作者：乔健;罗磊;托乎提努尔;杨振怀;
单位：佛山大学机电工程与自动化学院;季华实验室;
摘要：真空蝶阀广泛应用于中、低真空环境下的压力控制，由于蝶阀压力控制系统具有强非线性和时滞性，使得常规比例积分微分(PID)控制算法无法满足真空蝶阀对高精度压力控制的需求。为了提高真空蝶阀的压力控制性能，文章设计了一种带校正函数的改进模糊PID控制算法。实验结果表明，由于采用了模糊PID控制，新控制器在超调量和调节时间上远好于传统PID控制器；并且借助校正函数，新控制器可以明显改善系统的非线性影响，提高系统的响应速度以及控制精度。优化后的模糊PID控制器在动态性能、控制误差和目标跟踪速度上均优于传统方法，显著提升了真空蝶阀的压力控制性能。
关键词：真空蝶阀;模糊PID;压力控制;控制算法
基金资助：国家自然科学基金项目(52202365)
