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作者：李祎龙;张虹;金凡亚;姚明镜;黄熠;杨彪;但敏;唐语杉;褚力;马韦刚;
单位：核工业西南物理研究院;中国核动力研究设计院;
摘要：氢能是最有望代替化石能源的清洁能源之一，其具有易生产、高效和清洁环保等优点。但当氢气浓度达到4%～75.6%时，极易发生爆炸，所以在氢气的生产制备、储存、运输、分配和应用过程中，氢气浓度监测极为重要。文章采用磁控溅射技术和MEMS工艺制备了薄膜厚度为90 nm的PdNi合金薄膜，针对PdNi合金薄膜氢气传感器的零点漂移问题，采用空气和氩气进行退火处理，退火温度和时间设置为250℃和2 h，随后测试了不同退火气氛下的PdNi合金薄膜氢气传感器的氢敏响应特性。研究表明：空气退火后，PdNi薄膜氧化严重，不能对H_2有较好地响应；Ar退火后，PdNi薄膜合金化程度增强，薄膜缺陷减少，降低了PdNi合金薄膜传感器的响应值及灵敏度、延长响应时间，但会使材料结构更加稳定，可以抑制传感器的零点漂移现象，相较于未退火样品优化了50%左右，传感器响应更加稳定。
关键词：氢气传感器;薄膜;PdNi;零点漂移
基金资助：西物创新行动项目（202301XWCX003)
