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作者：许泽宇;胡明;刘杰;顾子莺;赵德明;
单位：浙江理工大学;杭纳半导体装备(杭州)有限公司;
摘要：为了使溅射镀膜单体机的极限真空度达到5×10~(-4)Pa并提高其抽空效率，提出了新的溅射镀膜单体机真空系统设计方案。利用MOLFLOW+软件对所设计的真空系统进行了极限真空度验证，真空室内部气压均优于2.7×10~(-4)Pa；同时，建立了真空系统的抽气计算模型，求解得到抽空曲线，与实机试验结果进行比较，结果显示，计算模型获得的抽空曲线与试验测试值偏差小于5%，可用于高真空系统性能分析。
关键词：磁控溅射;真空系统;抽气性能;抽空曲线
基金资助：国家重点研发计划项目（2018YFB1308100)
