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作者：韩攀阳;姜琪;冯进军;李兴辉;蔡军;
单位：北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家级重点实验室;
摘要：基于先进的微纳加工技术制备的Spindt阴极相比于热阴极具有可以瞬时启动、工作电压低、可在常温下工作等优势。尽管Spindt阴极性能优越，但很难实现真正的实用化，归根结底在于Spindt阴极的低可靠性。近几十年来，国内外研究者致力于从结构、材料以及工艺技术方面提高Spindt阴极的场发射特性以及耐用性，除了不断提高Spindt阴极的性能以满足高功率和高频率真空电子器件的需求，也在寻找和探索其它小电流、低能量、高可靠性的应用新领域，以更好地发挥Spindt阴极的优势。文章对Spindt阴极的最新研究进展进行了综述。
关键词：Spindt阴极;微纳加工技术;真空电子器件
基金资助：北京真空电子技术研究所稳定支持项目
