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作者：李日正;倪国华;孙红梅;王城;
单位：中国科学院合肥物质科学研究院;中国科学技术大学;
摘要：针对于一款放电腔直径为60 mm的射频感应耦合等离子体离子源，采用数值模拟的方法研究了射频天线和放电腔结构对氩离子密度分布的影响。结果表明，相比于均匀绕制线圈，非等匝间距的射频天线可有效提高所产生等离子体中氩离子平均密度与其径向均匀性均；氩离子密度随着放电腔高度的增大先增大后减小，在高度为38 mm时达到最大值；使用阶梯式介质窗虽然可以提高氩离子的密度，但也增加了其被溅射的风险。将模拟计算结果应用于离子源实验装置的研制，实现了0.24 mA氩离子束稳定引出。
关键词：离子源;数值模拟;感应耦合等离子体;等离子体发生器
基金资助：国家自然科学基金项目（12275317;12105325）; 青岛市科技示范项目（23-7-8-smjj-2-nsh)
