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作者：朱冠卿;邹鹏飞;毕海林;王旭迪;谢斌平;董金奎;曹青;
单位：合肥工业大学机械工程学院;费勉仪器科技(上海)有限公司;
摘要：目前冷阴极电离真空计在微型真空系统中的应用较少，文章对一种磁控管真空计（MMG）进行研究，成功达到了微小尺寸与高真空测量水平同时满足的目标，该MMG体积仅有0.3 cm~3，比目前市售的磁控管真空计小30倍以上，同时由于其连接器设计使其能够与标准真空电馈通相适配。用COMSOL模拟了磁控管真空计内部电磁场分布与电子运动轨迹，实验测试得到了MMG在-500～-2500 V电压下10~(-4)～10~(-7) mbar之间的电流与真空度关系曲线，选取最适合MMG测量的电压进行重复测量并拟合得到其灵敏度，将拟合得到的数据与校准真空计测量数据对比得到MMG误差范围。该MMG可用于微型真空系统中10~(-4)到10~(-7) mbar范围真空度的测量。
关键词：真空测量;磁控管真空计;微型化
基金资助：国家重点研发计划项目(2023YFF0717200); 国家自然科学基金青年基金项目(62101172)
