来源：期刊VIP网 时间：
作者：谢明君;韦佳伟;肖何;赵俊熠;陈妮;
单位：中国电子科技集团公司第五十四研究所;中国电子科技集团公司第十六研究所;南京航空航天大学;
摘要：围绕硅酸钙低温共烧陶瓷叠层基板难加工的问题，对比纳秒和皮秒激光加工对CaSiO_3 LTCC的影响、激光作用后的成分以及不同激光参数下CaSiO_3 LTCC的烧蚀特性，通过硬度变化评价两种激光加工的可行性。结果表明：两种激光加工后的区域皆呈现出粉末层及重铸层的叠加，重铸层产物均为CaSiO_3,皮秒激光加工后的形貌优于纳秒加工后的形貌；纳秒和皮秒的烧蚀深度分别在97.2～442.6μm和161.7～461.7μm范围内，随激光功率的增加以及速度和填充间距的减小，烧蚀深度基本呈线性增加的趋势，激光功率是影响烧蚀深度的主要因素；皮秒激光作用后的表面粗糙度整体比纳秒激光更低，化学铣切后最小可达6.41μm;纳秒作用后表面热影响区硬度分别下降72.0%～77.2%,较皮秒激光加工更利于后续机加工处理。
关键词：纳秒激光;;皮秒激光;;CaSiO_3 LTCC;;粗糙度;;维氏硬度
基金资助：国家重点研发计划(2020YFA0709700)
