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作者：王汉睦;王琦;聂晓明;罗晖;周健;
单位：国防科技大学前沿交叉学科学院;
摘要：基于正弦相位调制的激光自混合干涉技术，实现了扬声器表面、白纸等粗糙表面微小振动的精密测量。选用532nm固体激光器作为激光光源，基于电光调制器实现激光的正弦相位调制，相应的调制频率为251kHz。通过混频器/滤波器电路，从正弦相位调制的自混合干涉光学条纹中分别提取由位移变化导致的高信噪比正弦和余弦函数激光功率振荡信号，并进一步获得由于位移变化导致的激光相位变化。因此，可以从激光的相位变化中高效率计算出外部目标的振动与位移。通过与一精度为50nm的精密位移平台进行对比测量，两种仪器的测量结果吻合良好，实验验证了本文中激光自混合干涉仪的性能。文章的新技术可以为高精度低频微振动、微位移测量提供可靠的技术支持。
关键词：自混合干涉;;相位调制;;精密测量;;振动
基金资助：中国博士后科学基金面上资助(2022M713879);; 湖南省自然科学基金(2021JJ30782);; 国防科技大学自主研究项目(ZDJC19-12)
