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光学技术2024年第03期:大口径碳化硅机器人柔性磨削去除特性研究

来源:期刊VIP网 时间:


作者:赵鹏玮;王东方;张金平;张珑;郑列华;

单位:中国科学院上海技术物理研究所光电制造工程中心;中国科学院大学;苏州拓坤光电科技有限公司;

摘要:我国空间遥感、深空探测、空间战略装备等国家重大工程的快速实施,对大口径复杂曲面光学元件的高效制造提出了要求。为了提高光学加工中研磨阶段的效率,提出了基于工业机器人的柔性磨削技术。分析并比较柔性磨削技术与传统刚性磨削、传统研磨技术的差异,提出了等体积去除模型并验证其正确性。研究了磨削去除体积与驻留时间、压力以及转速的关系。实验条件下,柔性磨削去除效率为0.59mm~3/s,高于传统小磨头研磨效率8.4×10~(-2)mm~3/s。论文提出的柔性磨削技术为大口径碳化硅空间反射镜高效磨削提供一条新技术途径。

关键词:光学加工;;非球面;;精密磨削;;柔性磨削;;等体积去除

基金资助:中国科学院关键技术支持人才项目(E2K4H300);中国科学院青年创新促进会基金(2022238);; 上海市产业协同创新项目(HCXBCY-2023-002)