来源：期刊VIP网 时间：
作者：吴蕊;胡洋;唐荣芬;阳倩;王序;吴怡逸;聂登攀;王环江;
单位：贵州民族大学化学工程学院;
摘要：本文利用量子化学的密度泛函理论(DFT),研究了金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长ZnO薄膜过程中二乙基锌(DEZn)与叔丁醇(t-BuOH)体系的气相寄生反应机理。通过计算不同温度下反应路径的Gibbs自由能变化，从热力学角度详细分析关键中间产物(HOZnOBu~t、H(ZnO)_2Bu~t、HZnOH)的水解及二聚物(Zn_2O_2H_4、Zn_2O_4H_4、Zn_4O_4H_4)、三聚物(Zn_3O_6H_6)的形成，揭示不利于ZnO薄膜生长的纳米颗粒可能的形成路径和产物。研究发现在高温沉积条件下(673.15 K
关键词：氧化锌;;金属有机化学气相沉积;;密度泛函理论;;寄生反应;;薄膜;;二聚物
基金资助：国家自然科学基金(22262008);;
贵州省基础研究计划(自然科学)(ZK[2021]051);;
贵州省科技计划项目([2020]4Y014,[2020]1Y406,[2021]YB484,[2023]YB349);;
贵州省科学协会专题和研究课题(YZ2023001);;
贵州省教育厅自然科学研究项目(QJJ[2022]159)
