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作者：李權;丁勇;罗艳;高超;吴俊;李晓杰;王真文;刘彦岑;陈文秀;李金泽;
单位：四川红华实业有限公司;
摘要：NaF是一种具有高选择性、高吸附容量的HF吸附剂，被广泛应用于F-Gas(含氟电子气体)纯化工艺中。以温度、压力、流量作为研究因素，采用响应面法中BBD(Box-Behnken设计)对NaF吸附和解吸HF分别进行工艺参数优化研究。建立影响HF吸附量和解吸量的数学模型，并详细探究影响HF吸附和解吸工艺因素的显著性，以及因素交互作用对HF吸附和解吸的影响规律。结果表明：影响HF吸附和解吸的主要因素分别为流量和温度，当吸附温度为59℃,吸附压力为0.4 MPa,气体流量为345 mL/min时，HF吸附量最大达到512 mg/g;当解吸温度为348℃,解吸压力为0.23 MPa,气体流量为400 mL/min时，HF解吸量最大为478 mg/g。为含氟电子气体纯化工艺的参数优化提供重要参考。
关键词：氟化钠;氟化氢;响应面法;吸附与解吸;工艺优化
基金资助：中国核工业集团有限公司“青年英才”项目
