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作者：孟祥军;花莹曦;冯昭宇;郑凯天;尚青;姚冰洁;李茹霞;李绍波;许春建;
单位：天津大学化工学院化学工程联合国家重点实验室;中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司;
摘要：电子特气在集成电路制造过程的多个关键工艺步骤中发挥着重要作用。为确保最终的集成电路产品具备良好的电性指标及良品率，要求电子特气具有很高的产品纯度和严苛的质量一致性。然而，电子气体种类繁多，关键杂质种类及含量标准各不相同，因此各种电子特气的合成及纯化手段存在较大差异。文中重点关注市场需求量大的三氟化氮、六氟化钨和六氟丁二烯等产品，系统总结在电子特气合成与纯化过程中相关合成与纯化技术的研究进展及共性技术问题，以期为集成电路制造用电子特气的行业发展与技术进步提供参考和借鉴。
关键词：集成电路;气体;电解;合成;分离;纯化
基金资助：国家科技重大专项(013ZX02401); 化学工程联合国家重点实验室自主研究课题(SKL-ChE-22T06)
