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作者：付政伟;李宗昆;江毅;江宇璇;张琦;张洁;
单位：北京振兴计量测试研究所;北京理工大学光电学院;
摘要：开发满足临近空间高速飞行器所用的高精度光纤压力测量传感器，可有效提高高速飞行器飞行高度的测算精度，提高其控制稳定性，为加速高速飞行技术发展提供支持。利用MEMS光纤传感器技术研制了临近空间高速真空压力传感器，对未做封装保护的裸传感器1#、2#和3#，以及做封装保护的传感器4#和5#分别做了升、降压试验，实现了100～2000 Pa范围内的临近空间真空压力测量。试验结果表明，5支传感器都具有较好的腔长-压力灵敏度和拟合系数。做封装保护的传感器4#、5#与未做封装保护的裸传感器1#、2#、3#具有接近的拟合系数，表明二次封装没有改变传感器的性能。最后，针对现有研究给出总结和建议，对高速飞行器的真空度测量研究具备参考价值和推广意义。
关键词：MEMS光纤传感器;;真空压力传感器;;临近空间测试系统;;高速飞行器;;高精度光纤压力测量
基金资助：国家自然科学基金（U20B2057）
