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作者：吴晨光;沈小燕;周世南;
单位：中国计量大学计量测试工程学院;
摘要：法布里珀罗(F-P)标准具应用于位移和角度测量时，其干涉成像同心圆环圆心坐标的准确计算对测量结果具有关键影响。针对面阵CCD传感器上干涉成像同心圆环在移动时存在的误差，利用干涉成像同心圆环有效信息，提出一种面阵像元正反细分的对称翻转算法，在理论分析的基础上进行算法和实验验证。将该算法应用于F-P微小角度测量系统并进行比对实验研究。实验结果表明该算法可将圆心坐标标准差减小至0.002 8个像素单位；在±150″测量范围内，F-P微小角度测量系统的测量值与ELCOMAT HR自准直仪两者的示值误差不大于0.38″，经拟合修正后两者示值误差不大于0.06″，测量准确度得到有效提高。
关键词：F-P标准具;对称翻转变换;像元平滑细分;圆心坐标计算;微小角度测量
基金资助：国家自然科学基金（51875543）
