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作者：王宽;李倩靓;刘可欣;王会;陶青;刘顿;
单位：湖北工业大学机械工程学院,超快激光加工研究中心;
摘要：光波导是集成光子器件中的基本单元，降低光波导各类损耗、增加折射率改变量对于光子器件具有重要意义。本文采用像散光束整形技术在石英玻璃(JGS1)内制备光波导，探究了不同激光参数对光波导质量和波导损耗的影响规律。在单脉冲能量0.57～0.60μJ的范围内、扫描速度15μm/s、刻写8次的激光参数下，制备了传输损耗为0.231 dB/cm、耦合损耗0.1 dB/facet的直线光波导，其截面圆对称度较高，近模场分布的圆对称度可达0.98。
关键词：飞秒激光;;像散整形;;光波导;;传输损耗
基金资助：湖北省教育厅科学研究计划青年人才项目(Q20231405);; 湖北工业大学科研启动基金(XJ2023011101);; 湖北省重点研发计划项目(2021BAA172);; 湖北省创新群体项目(2022CFA006)
