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作者：蒯涛;黄宏胜;王东颖;雷强;曹志元;巩昊杨;
单位：西北机电工程研究所;
摘要：TMR磁传感器具有巨大的发展潜力，但是温度漂移会严重影响其测量准确性，目前仍然缺乏有效的温漂抑制手段。针对此，提出一种基于基准磁源的TMR温漂抑制方法，通过产生基准交流磁场作用于TMR磁传感器，根据基准磁场频率处TMR输出幅值变化，实时补偿TMR的灵敏度温度漂移；基于最小二乘支持向量机建立交流基准磁源幅值与零偏电压的温度漂移关系模型，补偿TMR的零点漂移。采用无磁温箱开展温度特性测试，结果表明，基于交流基准磁源的温度补偿将灵敏度漂移系数从0.098 536%/℃降低至0.005 87%/℃;补偿后的零偏电压误差被限制在0.143 mV之内，比未补偿时降低了19.5倍。补偿过程中不需要额外的温度传感器，提高了TMR磁传感器的环境适应性，为其面向复杂场景下的高精度测量提供了有力的方法支撑。
关键词：TMR磁传感器;;温度补偿;;基准磁源;;灵敏度校正
