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作者：姚雪盈;常文瑶;郭子瑞;李健梅;郭阳;顾长志;
单位：燕山大学理学院;中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室;
摘要：绝缘体上的铌酸锂（LNOI）兼具铌酸锂（LiNbO_3）晶体优秀的线性和非线性光学性质，及易于光子器件加工和集成的特性，被认为是集成光学的潜在平台之一。研究通过电感耦合等离子体反应离子刻蚀系统（ICP-RIE）制备了一种L型LNOI超表面结构，基于传统工艺步骤进一步提出了优化策略。主要包括，修正曝光图形，精准调控L形状；降低镀膜速率，提升掩膜的致密性与均匀性；调整刻蚀气体成分，引入氢气，消除样品副产物。实验结果表明，此优化工艺使L结构表面平整度显著改善、侧壁陡直度提高，尺寸符合理论设计。其二次谐波产生（SHG）强度相比LNOI大约提高5倍。该研究将推动铌酸锂晶体光学元件制备和集成技术的发展。
关键词：铌酸锂;;超构原子;;非线性超表面;;微纳米加工技术
基金资助：国家重点研发计划项目(2024YFA1207704);; 国家自然科学基金项目(92265110; 62174179);; 河北省教育厅科学研究项目(QN2024128);; 中国科学院战略性先导科技专项项目(XDB33020200)
