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作者：杨传森;郭宇扬;宋春尧;刘迪;丁双;卢耀文;王欢;齐鲁平;杨轶行;
单位：北京市真空计量检测工程技术研究中心;北京东方计量测试研究所;
摘要：针对真空系统中压电微调阀流导调控稳定性不足的问题，文章设计了一种基于定容法的流导特性测试系统，研究了激励电压幅值、波形及施加历史对典型压电微调阀流导特性的影响。实验结果表明，压电微调阀的流导-激励电压循环曲线存在显著回滞效应，降压过程流导值较升压过程均显著偏高，其机制可能与压电陶瓷电畴结构弛豫和残余应力释放的时间依赖性相关。通过预加100 V高电压激励，典型激励电压下的流导值重复性显著提升，说明了预激励可优化电畴结构排列和残余应力分布一致性并降低形变滞后效应。该研究揭示了激励电压施加历史对压电微调阀流导调节性能的关键影响，为提升真空系统压力控制精度提供了实验依据和思路。
关键词：压电微调阀;;流导;;激励电压;;压力控制
基金资助：北京市科技新星项目(2022115)
