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作者：李星言;成永军;冯天佑;孙雯君;陈联;王星辉;赵澜;
单位：兰州空间技术物理研究所真空技术与物理全国重点实验室;西北民族大学电气工程学院;
摘要：四极质谱计在各行业的需求量不断加大，中国也逐步开始高精度四极质谱计研究，因此对射频电源性能提出更高要求。基于四极电场以及电参数影响因素理论，使用离子光学仿真软件SIMION针对不同电参数对电场运动以及离子轨迹进行了建模与仿真分析。仿真分析结果表明，在给定的仿真参数下，增大偏置电压可以减小离子入射能量，从而对分辨率有一定改善，但由于大质量数离子受边缘场影响更大，因此大质量数离子通过率下降明显；增大电源频率可以提高四极质谱计分辨率，但会使得仪器灵敏度变差，同时高频会使得对应电压升高，增加电源的制造难度；提高直交比会减小离子通过率，提高分辨率，但在同一直交比下由于稳定区域的非线性，使得大质量数分辨率相对小质量数会明显变差，实际生产中可能需考虑不同的直交比来达到要求。以上结果为射频电源研制与使用提供了理论支撑。
关键词：四极滤质器;;射频电源电参数;;SIMION仿真;;离子通过率;;分辨率
基金资助：甘肃省首席科学家负责制项目（23ZDKA016）
