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人工晶体学报2025年第09期:富加镓业突破6英寸VB法氧化镓单晶制备技术

来源:期刊VIP网 时间:


作者:齐红基;

单位:富加镓业;

摘要:<正>杭州富加镓业科技有限公司(以下简称:富加镓业)在垂直布里奇曼法(VB法)氧化镓晶体生长领域取得重大突破——成功制备出6英寸氧化镓单晶晶锭(见图1)。晶体等径高度达30 mm,为功率器件所需导电性材料,可满足完整6英寸氧化镓导电型衬底的加工需求。富加镓业在氧化镓单晶领域展现出强劲的技术迭代能力。2024年12月,率先在国内实现4英寸VB法氧化镓晶体制备,此次6英寸单晶的突破,实现晶体尺寸上的跨越式升级,再次凸显公司在核心装备制造、高精度模拟仿真、确定性热场设计三大关键领域的硬核实力。