来源：期刊VIP网 时间：
作者：吴化勇;刘文平;
单位：山东交通学院航空学院;山东大学机械工程学院;
摘要：【目的】针对微机电薄膜中的残余应力问题，开展了具有残余应力微膜的动力学性能研究。【方法】首先，建立具有残余应力微薄板的数学模型，研究了残余应力对微膜固有频率和振型的影响规律，讨论了残余应力对板、膜行为特性转变的影响。然后，基于最小势能原理研究了具有残余应力微膜的稳定性，提出了防止微膜压曲的措施，分析了微膜在简谐激励下的振动响应。【结果】结果表明，残余应力会引起板、膜行为的转变，残余应力对固有频率影响显著，但对振型的影响较小；通过改变薄膜的结构参数和制备工艺，可有效防止薄膜失稳；残余应力对微膜固有频率和振动位移的影响呈相反的变化趋势。研究结果对微膜结构的微机电系统发展具有重要的参考意义和应用价值。
关键词：微膜;;残余应力;;微机电系统;;动力学;;稳定性
基金资助：山东省自然科学基金项目（ZR2021ME211）~~
