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真空科学与技术学报2024年第06期:一种冷阴极电子枪的模拟研究

来源:期刊VIP网 时间:


作者:汪敏霞;魏世宗;徐季;

单位:南京信息工程大学电子与信息工程学院;

摘要:文章通过Computer Simulation Technology粒子工作室软件建立了一种电子通过率极高的微焦点冷阴极电子枪。重点研究了电子枪自身结构对焦点、电子通过率和阴极发射电流的影响。特别是仿照了皮尔斯电子枪的结构,采用了一种弧面阴极,并在此基础上增加了一个阴极凹槽,使电子通过率从75.21%提高到90.26%,同时将近500μm的焦点缩小到50μm以内。最终设计出的冷阴极电子枪在阳极电压为90 kV且栅极电压为1 kV的条件下,电子通过率可达95.41%,在阳极靶面得到的束斑有效焦点尺寸约为45μm。

关键词:冷阴极;凹槽;通过率;焦点;阴极发射电流

基金资助:国家自然科学基金项目(92264103)