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作者：姚雪琦;董云宁;闫睿;陈俊儒;丁双;康朋伟;卢耀文;
单位：北京市真空计量检测工程技术研究中心;北京东方计量测试研究所;
摘要：文章对新研制的便携式分压力质谱计校准装置的部分性能进行了测试。采用参考电离真空计测量了装置的极限真空度；对于流导值在10~(-2) m~3/s的圆孔型抽气流导元件，通过精确测量其直径和厚度的尺寸，采用公式计算得到分子流条件下的流导值；对于孔径在微米量级的进气流导元件，采用定容衰减压力的方法通过实验测量确定其流导值；采用同一真空计分别测量抽气流导元件两端的气体压力获得返流比。测试研究结果表明：装置的极限真空度为4.8×10~(-7) Pa，抽气流导元件对N2的流导值为1.37×10~(-2) m~3/s，对N_2的返流比为0.193，两个进气流导元件对N_2的流导值分别为3.81×10~(-6) m~3/s、4.50×10~(-8) m~3/s，综合分析可得装置对N_2的校准范围为（4×10~(-1)～5×10~(-6)）Pa。
关键词：校准装置;分压力;性能测试;质谱计;便携式
