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作者：徐法俭;刘继睿;袁铮;任昌青;姜云锋;董钦敏;
单位：淄博真空设备厂有限公司;国家泵类产品质量检验检测中心(山东);沈阳水泵研究所有限公司;
摘要：真空泵抽速测量有多种方法，其准确度受到方法、仪表精度等影响。其中定流量法作为其中一种方式，其建立在一元可压缩流体理论基础上。文章结合一元可压缩流体基础理论与现有测试方法，提出将喷嘴临界状态作为定流量法测量基础。通过喷嘴临界状态的出现以及临界值计算，作为真空泵流量的测量方法基准数值，测量过程中只需要测定环境参数就可以测定真空泵流量，进而计算真空泵在某规定压力下的抽速。该测量方法装置和过程简单，容易操作，外界因素影响自然降低到最低，是一种可靠、绿色测量方法。抽速作为真空泵最重要参量，数字化、智能化测量是发展方向，准确的抽速测定是真空泵及系统优化的依据，将推动真空技术发展。
关键词：一元气体方程;临界状态;临界参数;计量喷嘴;亚音速;抽速测量
基金资助：泰山产业领军人才工程专项项目（tsls20230603）
