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作者：阴怡媛;李得天;张虎忠;马卓娅;习振华;李刚;张开旭;宋云见;
单位：兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室;
摘要：文章将碳纳米管电子源应用于高稳定电离真空计，通过结构和电参数优化，研制了样机，并开展了样机计量特性的实验研究，研究结果表明，新型电离规在6.87×10~(-6) Pa～6.45×10~(-5) Pa的压力范围内，灵敏度在0.200 Pa~(-1)～0.245 Pa~(-1)的范围内波动，与仿真灵敏度0.250 Pa~(-1)的偏差最大为20%，灵敏度波动小于5.96%，证明该结构设计合理，有望应用于超高真空校准及精确测量领域。
关键词：碳纳米管电子源;电离真空计;灵敏度
基金资助：国家自然科学基金项目（62171208）; 国家重点研发计划项目（2023YFF0717200）
