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作者：梁小彪;陈亚奋;张家权;
单位：广东华升纳米科技股份有限公司;
摘要：通过电弧离子镀和高功率脉冲磁控溅射复合技术制备了功能层负偏压为40V,80V,120V和150V的多层AlCrN/TiSiN复合纳米涂层，通过SEM观察表面液滴，测量涂层硬度、结合力和应力，并进行切削测试，以此探究功能层负偏压变化对涂层性能的影响。测量结果表明，随着功能层负偏压的升高，涂层的液滴数量先减少后增加，硬度和结合力先升高后降低，硬度和结合力在120V时达到最大，分别为34.6GPa和117.5N,内应力随功能层负偏压的升高而升高。切削测试结果显示，功能层负偏压在120V时刀具达到8h的最长寿命。
关键词：功能层负偏压;;表面液滴;;纳米硬度;;结合力;;切削性能
