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作者：杨露;宋志成;倪玉凤;张婷;魏凯峰;阮妙;石惠君;郑磊杰;
单位：青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司;
摘要：为提升隧穿氧化钝化接触(TOPCon)太阳能电池的光电转换效率，采用硼扩散和激光掺杂的方式形成选择性发射极结构，研究了硼扩散方阻、激光功率输出比、氧化时间等对电池发射极钝化性能的影响。实验结果表明，当扩散方阻为140Ω/□,氧化温度为1 020℃,氧化时间为30 min时，发射极轻掺杂区域(p~+)的方块电阻为320Ω/□,隐开路电压值达到729 mV,暗饱和电流密度为12 fA/cm~2。发射极重掺杂区域(p~(++))的方块电阻为113Ω/□,隐开路电压值为710 mV,暗饱和电流密度为26 fA/cm~2。基于该工艺方案制备的TOPCon电池最高光电转换效率达到24.75%,电池开路电压高达720 mV,短路电流提升30 mA,相比现有TOPCon电池光电转换效率提升了0.26个百分点。
关键词：TOPCon太阳能电池;;选择性发射极;;硼扩散;;激光;;氧化;;光电转化效率
