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作者：韩笋;李艳;
单位：中国矿业大学材料与物理学院;
摘要：本文采用溶胶-凝胶法制备了VO_2和VO_2-SiO_2复合薄膜，并用X射线衍射仪(XRD)和紫外-可见分光光度计对薄膜的相结构和透过率进行了表征。结果表明，制备的VO_2为单斜相(B),VO_2-SiO_2复合薄膜的XRD图谱和VO_2类似，薄膜在450～800 nm的光学透过率达到了90%以上。激光诱导损伤阈值(LIDT)测试结果显示，VO_2-SiO_2复合薄膜的LIDT为3.9 J/cm~2,相比VO_2薄膜提高了77.3%。通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)和台阶仪研究了VO_2薄膜和VO_2-SiO_2复合薄膜的损伤形貌差异，VO_2薄膜呈现出熔融型损伤，VO_2-SiO_2薄膜则呈现出熔融型损伤和应力型损伤的共同特征。此外，构建了不同薄膜的激光诱导损伤模型，揭示了相关损伤特性和内在机制。
关键词：VO_2;;SiO_2;;溶胶-凝胶法;;光学透过率;;激光诱导损伤阈值;;损伤特性
基金资助：中国矿业大学教改项目(2023ZDKT05-210)
