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作者：姜丽萍;朱哲琳;丁飞;
单位：南京科技职业学院;格科微电子(上海)有限公司;南京邮电大学通信与网络技术国家工程研究中心;
摘要：针对平面透明元件特征不明显、大视场下测量精度不高等问题，文章提出一种基于机器视觉的平面透明元件测量方法。该方法主要包括平面透明元件二维信息测量及高度信息测量两部分。添加特征背景增加平面透明元件的纹理信息，在此基础上基于SURF角点检测的图像配准方法实现大视场环境下图像高精度拼接，提出一种改进的二值化方法剔除特征背景还原图像信息，结合轮廓检测及矩形轮廓识别技术获得平面透明元件二维信息。同时引入一种激光投影装置，通过灰度重心法及改进的双边滤波方法，实现对平面透明元件上下表面的激光异位成像高精度检测，并基于折射原理获得平面透明元件高度信息。实验结果表明，二维检测的准确度为5μm，相对误差保持在0.02%以下，高度检测的准确度为50μm，相对精度保持在0.78%以下，实现平面透明元件在大视场下的高精度测量。
关键词：机器视觉;透明元件;图像处理;灰度重心法
基金资助：国家自然科学基金项目（11973007）
