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作者：薛家祥;蓝智绅;
单位：华南理工大学机械与汽车工程学院;
摘要：针对等离子清洗用射频电源阻抗匹配器匹配时间过长的问题，该文提出一种基于L型匹配网络的自动阻抗匹配解析调谐法。根据射频系统中射频VI probe提供的反射系数信息，理论推导在各种负载下达到阻抗匹配所需的匹配网路参数的计算公式，最后通过控制部分调整可调电容的容值，进而实现射频电源系统与真空等离子腔体负载的阻抗匹配。为验证算法的可靠性，搭建Matlab/Simulink仿真对比验证算法相比于传统智能算法拥有更快的运行速度，仿真结果表明，解析调谐法能在10 ms左右将反射系数的模降至0.01。通过实际上机实验获取输出电压与输出电流波形，并监测正反向功率和反射系数，13.56 MHz射频电源系统在500 W输出功率下反射系数的模为0.104，结果表明解析调谐法能很好地应对真空等离子腔体负载阻抗的变化，阻抗匹配效果良好，可保证等离子体的稳定电离，优化等离子清洗效果。
关键词：等离子清洗;射频;阻抗匹配;解析法;自动调谐
基金资助：广东省自然科学基金项目(2214050007061)
