工具技术2025年第05期：基于包络匹配的飞行相位结构照明表面形貌测量

来源：期刊VIP网时间：

作者：叶卓杭;刘晓军;

单位：华中科技大学机械科学与工程学院;

摘要：本文基于宽场显微成像原理，研究飞行相位法结构光照明显微表面形貌测量方法，在分析验证飞行相位法表面测量性能基础上，提出一种基于包络相关匹配的峰值提取算法，实现飞行相位法高效率的同时，有效提高了测量精度。实验测试验证了飞行相位法结合包络相关匹配的峰值提取算法实现表面高精度测量的有效性。

关键词：结构照明显微镜;;飞行相位法;;表面测量;;包络匹配;;峰值提取