来源：期刊VIP网 时间：
作者：朱航;李晓静;胡平;蒋凯;巩书通;吴晓雪;
单位：西安建筑科技大学机电工程学院;中国兵器科学研究院宁波分院;
摘要：随着光学制造和精密加工技术的不断进步，光学元件的表面质量对其性能和使用寿命起着至关重要的作用。亚表面损伤为影响光学元件功能和可靠性的主要因素之一，已成为光学加工中的研究重点。本文综述了硬脆光学材料的磨削机理，分析了亚表面损伤的形成机理及磨削过程中抑制亚表面损伤的相关方法。随后，重点介绍了几种先进的表面加工方法，包括磁流变加工、等离子体刻蚀、激光加工和离子束刻蚀等，探讨了他们在抑制亚表面损伤方面的原理、应用效果及技术优势与局限。最后，总结了当前技术面临的主要挑战，并展望了未来研究的方向，希冀为优化光学元件的表面质量，致力达到无损级表面工艺提供参考。
关键词：光学元件;;脆性断裂;;亚表面损伤;;损伤机理;;损伤抑制
基金资助：浙江省自然科学基金项目(LY23E050006);; 宁波市自然科学基金重点项目(2022J317)
