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作者：陈沛沛;邵秋文;侯艳霞;乔丽丽;马超;蔺菲;杨国武;
单位：钢研纳克检测技术股份有限公司;钢铁研究总院;
摘要：本文建立了一种直流辉光放电质谱法分析氧化铌粉末中痕量杂质元素的方法，以高纯金属铟作为导电介质。优化的仪器工作参数为：放电电流2.0 mA，放电气流250 sccm，预溅射时间30 min。考察了70种杂质元素可能存在的干扰情况；采用氧化铌质量控制样品校正了K, Ta, Ca, Ag等7种元素的相对灵敏度因子（RSF）。实验表明，70种元素的检出限为0.003～1.328μg/g，定量限为0.010～4.425μg/g，相对标准偏差均小于30%。将该方法与传统湿法比对，分析结果基本吻合。
关键词：直流辉光放电质谱法;;氧化铌粉末;;70种痕量杂质元素;;相对灵敏度因子(RSF)
基金资助：国家重点研发计划项目(2021YFB3700405)资助
