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作者：张树人;刘相梅;王博;吕明宇;
单位：齐齐哈尔大学理学院;
摘要：文章使用了一维流体模型对驱动频率为40 kHz的Ar/O_2放电特性进行研究，着重讨论电压、气压、极板间距等外界条件对电离率、等离子体密度、电子温度和极板处离子能量等参数的影响。结果显示低频放电中γ模式占主导，DA(driftambipolar）模式非常微弱近乎忽略不计，且外界参数的变化并没有影响放电模式；低频放电的另一个特征为离子能量较高。此外，电压的增加使得等离子体密度和O_2~+能量迅速增大，鞘层区的电子温度随着电压的增大而上升，但等离子体区电子温度是下降的。气压和极板间距的增大也会使等离子体密度和离子能量增大，而鞘层区和等离子体区的电子温度均减小。
关键词：低频;Ar/O_2放电;等离子体
基金资助：国家自然科学基金项目（12275039;11805107）; 黑龙江省高校基本科研业务基金项目（145309625）
