来源：期刊VIP网 时间：
作者：周文远;时凯;苏俊宏;
单位：西安工业大学光电工程学院;
摘要：针对当前光电系统中红外透明器件对电磁屏蔽性能的要求，文章利用High Frequency Structure Simulator(HFSS）仿真软件对多种不同结构参数的金属网栅的电磁屏蔽效能（SE）进行了仿真，分析了每个参数对金属网栅性能的影响规律。仿真结果表明单层金属网栅的电磁屏蔽效能与红外透过率互为矛盾关系，为了兼顾电磁屏蔽效能和红外透过率，文章设计仿真了多种不同结构的双层金属网栅，探究了影响双层金属网栅电磁屏蔽效能的多种因素，制备了周期为600μm，线宽为20μm的双层金属网栅。使用矢量网络分析仪和真空式傅里叶变换红外光谱仪对制备的双层金属网栅进行性能测试，实测双层金属网栅在3μm-5μm波段透过率约为86.5%，在12 GHz-18 GHz波段的平均屏蔽效能达到25 dB，相较于单层金属网栅红外透过率降低了2.5%，但电磁屏蔽效能提高了10 dB。在对金属网栅的实测与仿真结果对比分析的基础上，给出了影响实测结果的原因。
关键词：电磁屏蔽;红外透明;金属网栅仿真与制备;双层金属网栅
基金资助：JKW创新项目（G20220622）; 国家自然科学基金项目（62205263）
