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作者：张贺斌;任天平;苏宇锋;
单位：郑州大学机械与动力工程学院;
摘要：针对MPCVD装置冷却水温度控制中存在的调节时间长、稳定性能差的弊端，提出一种将改进后的混沌蛇鹫优化算法（CSBOA）与自抗扰控制（ADRC）算法结合的控制策略。首先，给出了冷却水温度控制系统的结构及数学模型，设计自抗扰控制器；其次，通过混沌蛇鹫优化算法对自抗扰控制器的部分参数迭代寻优，解决人工调整参数的问题。对系统进行了仿真和实验验证，结果表明：相比于传统PID控制，该控制系统稳态时的温度误差更小，具有更好的温度控制效果，有效避免了冷却水温度波动对金刚石薄膜制备产生的不良影响。
关键词：MPCVD;;冷却水温度;;自抗扰控制;;蛇鹫优化算法;;参数整定;;金刚石薄膜制备
基金资助：国家自然科学基金项目（U1904169）
