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作者：江嘉鹭;赵晓晓;王海燕;张晓丹;刘超;许荣杰;庄丽敏;林亮亮;
单位：国家钨材料工程技术研究中心厦门钨业股份有限公司技术中心;厦门市硬质合金重点实验室;厦门金鹭特种合金有限公司;
摘要：X射线衍射法测定涂层应力在实际应用中仍存在如测试方式及参数选择、结果准确度判定等问题，而复合多层涂层则更复杂。采用侧倾法及Rietveld辅助掠射法表征硬质合金基PVD涂层残余应力，结合三者特点在适用范围内建立标准测试流程，并进行准确性验证试验。结果表明，该方法有较高的可靠性，有利于工业生产中涂层应力的快速判定。通过对比侧倾法测得的σ_(AVE)和Rietveld掠射法测得的σ_(ACDR),可较好地表征涂层各相所受应力及应力变化趋势，解决了采用单一测量方式难以判定准确性的问题。而合理运用Rietveld法可以解决多层涂层应力测试中无法避免的第二相干扰。
关键词：残余应力;;X射线衍射;;涂层;;全谱拟合;;侧倾法;;掠射法
基金资助：厦门市重大科技计划(3502Z20231009)
